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名 称 研究機関名 研究者名 実験施設 実施年度
微小重力下でのCVD炉内の熱流動特性と半導体薄膜成長への影響 立命館大学 高倉 秀行 MGLAB H12




i 実験概要及び条件
i 実験装置及び支援システム
i 安全対策
i 実験準備作業等
i 実験結果